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这种情况比较复杂，因为周围气体介质即使稍微漏入真空腔内，也会使其真空度降低。如果漏入了腐蚀性气体,真空设备就可能损坏。在很多情况下，真空度和真空空间的洁净，对真空条件下进行的各种工艺过程的质量有决定性的影响。
真空器件所使用的机械密封在结构上并无特殊之处。对于上述的一种情况，通常是采用气密性好的金属波纹营型单端面机械密封。第二种情况则要用双端面机械密封，若使用单端面密封，势必存在密封端面不能获得润滑的问题。
密封面内圆柱面上的伤痕很可能是外面的杂物进入密封面或安装不当造成的。密封面上的环形沟槽，多数是固体微粒沉积于密封面而引起的。
石墨环（动环）的裂纹是由于传动件的振动，橡胶圈的涨大以及石墨环本身的内应力造成的，而结焦则是因高温所致，这在炼油厂的高温热油介质中是常见的。
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多孔端面机械密封的结构特点及性能 多孔端面机械密封(LST-MS) 是Etsion于1996 年提出的，在动静环的任一面上加工出不同分布形式的微孔，微孔不具有方向性，属于双向旋转的非接触机械密封，可用于气体或液体密封。典型微孔端面密封常采用激光精密加工而成，如图所示。渣浆泵起动前，需检查机械密封的附设装置，冷却润滑系统是否完善畅通，起动前应清洗物料管线，以防铁锈杂质进入密封腔内。本文主要讲解了多孔端面机械密封的结构特点及性能，揭示其密封机理与动压形成机制。
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需要注意在安装机械密封过程中，应保持清洁，且不允许用工具敲打密封元件，以防损伤和破坏，安装时，动、静环表面应涂上一层清洁的机油和透平油。【天津三雨泵阀向您推荐明星产品--博格曼机械密封】渣浆泵机械密封的应用：适用于含有固体颗粒含量及高的恶劣工况，主要用于氧化铝厂、烟气脱硫系统、电厂除灰系统、造成直接经济损失纸制浆等行业，机封采用集装式，安装方便，尺寸不受轴向调整的影响。辅助密封圈(包括动环密封圈和静环密封圈)安装前也需涂一层清洁的机油或透平油，以保证安装顺利，接着将静环密封圈套在静环背部后，装入密封端盖内，要注意勿伤静环端面，要保证静环端面与端盖中心线垂直，且注意静环背部的防转槽要对准防转销，但不能相接触。
对于质量较差的石墨环（动环）来讲，其内部气孔较多，这是因为在制造过程中，聚集在石墨内部的气体膨胀将碳微粒吹出的所致，因此这种低质的石墨环在密封启用中，其碳微粒很容易脱落，而使密封面在密封停用时粘住。
密封面内圆柱面上的伤痕很可能是外面的杂物进入密封面或安装不当造成的。密封面上的环形沟槽，多数是固体微粒沉积于密封面而引起的。