当化学物质通过吸收能量(如热能、光子能量等)，可以使自身的化学性质变得更加活跃甚至被裂解。当吸收的能量大于化学键键能，即可使得化学键断裂，形成游离的带有能量的原子或基团。当波段内的真空紫外线(波长范围内184。9nm-253。7nm)，促使有机废气物质通过吸收该波段的光子，而该波段的光子能量大于绝大多数的化学键键能，使得有机物质得以裂解;再通过裂解产生的臭氧将其氧化成简单、无害、稳定的物质，如H2O和CO2等。
常见废气处理设备部件：1、燃烧设备燃烧装置是废气处理设备的设备，起着至关重要的目的;主要是利用燃烧反应，对废气和空气燃烧，把废气分解成二氧化碳、水或固体氧化物等，来达成vocs废气处理问题。2，收集装置收集装置是构成循环系统的一部分，将vocs废气收集、检测等工作;减少废气中粉尘，防止粉尘堵塞吸附设备。步是将vocs废气收集排入至废气处理设备内部进行燃烧处理，在废气进入燃烧室时，会进行废气检测;将不溶解的vocs废气，从设备的顶部排出去。
活性炭吸附设备是工业除尘设备中的，不仅可以针对于各种工业生产企业产生的有机废气进行处理，而且该设备的设计更加的科学合理，采用抽屉式的单元分布排列活性炭，在非常方便的进行检查、取出和更换，根据处理废气种类的不同，可以选择不同材质的原材料进行制作。在活性炭废气处理设备的工作中，通过活性炭的吸附净化效果，就可以让经过处理的有机废气排放到大气中去了。有机废气处理设备在结构上设计比较优化，设备的结构强度比较高，人们对这种设备比较喜爱。设备在运输的时候费用比较低，人们可以通过较少的投入，同时实现多种废气的净化工作。
不同生产工艺的企业产生的废气成分也是不相同的，例如包装印刷或者机械设备厂，产生的就是截然不同的废气，对于不同的行业，不同的加工处理工艺，所采用的废气处理设备也是不相同的，针对工厂排放不同的废气。吸附工业废气处理设备，该技术的工业废气处理设备主要是处理低浓度、高通过量的有机废气，在现阶段这种有机废气的处理方法已经很成熟了，而且运行消耗较小。Uv光氧催化装置:当光能足够打破有机废气分子中的化学键时，只有当激发能大于化学键能，这两个条件都满足时，化学键才会被打破。