真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到真空有一个很大的范围，
蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华（或蒸发）而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。卧式泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。
真空度低，这不仅是因为受到结构上的限制，更重要的是受工作液饱和蒸气压的限制。用水作工作液，极限压强只能达到2000~4000Pa。处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示“差”的意思。真空泵应安装在地面结实坚固的场所，周围应留有充分的余地，便于检查、维护、保养。如真空泵口安装电磁阀时，阀与真空泵应同时动作。