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分子泵不能在前级泵工作时(前级管道接通)和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉,否则将会使油蒸气迅速从前级管路返流到泵内。

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真空泵的极限压力可以简单理解为这台泵*高能抽到的真空泵。 测试一般是盲死抽气口,测试此时真空泵所抽的负压是多少。 6*10-2pa一般是双极旋片式真空泵的极限真空度,意思为0.06pa

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涡轮分子泵可以用于各类质谱仪(比如 GC/MS、LC/MS、ICP/杠MS、TOF…)、镀膜机、电子显微镜(SEM、TEM)、聚焦离子束系统(FIB)、表面分析仪器,高能物理实验装置、粒子、高真空实验装置等诸多应用。

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