在电子元件制品的制造过程中,微粒子污染对成品率有重大影响,故应在过程中严格控制微粒子的数量,遵守“不携入、不发生、不储备、除去”四项基本原则以防止微粒子污染。
无尘室内的浮游微粒子浓度,使用的过滤器即可容易达到零水平,实际的生产现场由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等,在制造品周边扬起了少许的微粒子,因而造成了元件清洁面的粒子污染。
无尘室内防止微粒子污染的基本原则:
不携入
在无尘室内不携入微粒子的方法有:
作业员进入无尘室前,机台、零件携入前应进行清洁处理;
进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。
通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后,才能进入无尘室。
机器及材料带进无尘室前,应尽可能在密封状态下带进无尘室前室保养后用超纯水擦拭,经风淋室吹淋后才进入无尘室。
无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。
在洁净室中,人是决定微粒污染物产生的重要因素。洁净室内工作的人员都应当充分了解个人卫生习惯对洁净室洁净程度的影响有多大,这才是很重要的。
苏州卓宇泰为您介绍洁净室工作人员应遵循的规程,有关服装和个人用品方面的要求,供读者参考。对于穿着的洁净服,建议每周更换一到两次,或者只要衣服一脏就立即更换。至于珠宝首饰,工作人员可以戴结婚和订婚戒指,但不要戴有尖角或者边沿锋利的戒指,因为它们可能会刺穿手套或者衣服。如果一定要戴这种戒指,就需要在戴手套和穿洁净服之前用带子把它们缠起来。建议不要佩戴悬垂式耳环、项链、胸针和其他凸出来的或者悬挂的饰品,即便它们一般都是藏在衣服里面,不要佩戴这些饰物。因为这些东西可能会干扰洁净室或者实验室的正常活动。