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分子泵有三种类型：牵引型分子泵、涡轮分子泵和复合型分子泵。按制造结构，可分为油润滑、脂润滑、磁悬浮(单磁永磁悬浮、全磁悬浮)。

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涡轮分子泵系统软件实际操作常见问题及常见问题清除：(1)不可以在前面泵工作中时（前面管路接入）和真空系统处在真空泵情况时将涡轮分子泵停用，不然可能使油蒸气快速过去级管道反流到泵的清理端。

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涡轮分子泵是一种用来获取高真空的真空泵，典型的工作压力是 0.0001Pa、0.00001Pa，但在极限状态下，可以通过它实现 0.00000001Pa（大气压的十万亿分之一）的超高真空。