常见的实验室净化工程装修材料有夹心彩钢板、钢化玻璃、防火板等,洁净实验室必须按照《洁净室施工与验收标准》采用可以较好的密封并且不产尘的材料进行隔断、吊顶装修,洁净实验室通风系统一般采用组合式空调机组,其送风系统与各业洁净室工程不同的地方是,不是所有实验室都可以设置回风系统的,这需要根据用户实验室的用途以及实验产品而定。类似于生物安全类实验室就不可以做回风系统,或者说要以全排式洁净室的做法来施工。另需要有放置组合式空气处理机组的空调机房,如25000m3/h的组合式空气处理机组,常用外形尺寸为6450×1850×2250mm左右。实验室净化工程等级设计也很关键,一般的无菌室实验室洁净度等级都是万级,一般普通实验室则大范围十万级~万级的布局设计。生物安全实验室、阳性对照实验室以及微生物培养实验室则需按照静态百级的洁净室标准进行设计、施工
洁净室中的温湿度控制洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。要充分了解业主拟采用的生产工艺、工艺设备情况和对工艺布局的设想。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。
经济和科技发达的国家和地区都有自己的空气洁净标准和规范标准,都规定了有关的洁净度等级,例如美国、日本、西欧、北欧、俄罗斯等。我国于1984年颁布《洁净厂房设计规范》(GBJ73-84),1996年该规范进行了较大的修改,1990年颁布《洁净室施工及验收规范》(JGJ71-90)以指导施工和验收的重要文件。5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。该规范在重新修订中。GBJ73-84规定的洁净度等级等级每立方米(升)空气中》0.5μm尘粒数每立方米(升)空气中》5μm尘粒数100《35*100(〈3.5〉 1000《35*1000(〈35〉《250(〈0.25〉10000《35*10000(〈350〉《2500(〈2.5〉100000《35*100000(〈3500〉《25000(〈25〉
要充分了解业主拟采用的生产工艺、工艺设备情况和对工艺布局的设想。在此之后,设计人员应协同业主确定洁净厂房各功能区的区划,确定各类生产工序(房间)的空气洁净度等级和各种控制参数——温度、相对湿度、压差、微振动、高纯物质的纯度及杂质含量;而每小时换气次数与房间的体积有关,如吊顶的高低,因此不适合用来表示单向流。初步选择洁净室净化工程的气流流型并进行净化空调系统的初步估算及设计力案的对比、确定;进行洁净厂房的平面布置、空间布置,此时必须首先安排好产品生产区与个产辅助区t动力公用设施区的合理布局,通常是顺应产品的生产工艺硫程,在确保产品生产环境要求的倩况下做到有利于产品生产的操作、管理,有利于节约能源、降低生产成本。