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等离子体注意事项
1、等离子清洗机的摆放位置要略高真空泵，以免真空泵的微量回油进入清洗机内。
2、请不要使被处理物体与高压极板相接触，特别是金属物体会造成射频高压对地短路而损坏设备。
3、在使用手动控制处理结束后应复原全部电气按钮。如果没有复位自动操作不能正常进行。
4、设备加电后请勿打开机盖，防止高压触电，个别情况烧毁保险管需更换时，请在断电5分钟后进行。
5、在手动控制处理过程中（即加有高压情况下），在工作情况下请勿设定参数。
等离子体注意事项
1.当主机与真空泵连接好后，尽量不要移动位置，以避免真空管路松弛泄漏，导致真空度下降，真空管路的轻微泄漏会大大延长真空泵的抽取时间。
2.环境温度过高或使用时间过长时，温度保护控制可能会切断射频电源，此时应停止处理操作，但不要关断设备电源，因风扇的运转会加速设备的冷却。
3.由于等离子射频电源的特殊性，在接入~220V电源时，一定要按所配接电源线插头的标志正确接入：即所提供的电源与三角插头的接线标志要准确对应（L、N、E）,否则会造成设备不能正常工作。
4.感应舱门没有关好，感应不到位，导致抽真空出不上去，确认门是否合上。
PDMS浇筑
1）将需要制备芯片的模具放置于在浇筑托盘里；
2）将脱泡后的PDMS缓慢浇筑到托盘内，厚度依据需求确认，静止10min；
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