压电陶瓷执行器因其体积小、位移分辨率高、响应速度快、输出力大、换能效益高等优点,广泛应用于扫描探针显微镜、自适应
/主动光学元件、纳米定位、振动控制、声学、声纳、微流体输送等领域中[1]。对于压电陶瓷稳定工作很多困难亟待解决,其中迫切的就是驱动电源,压电陶瓷驱动电源技术己成为目前压电陶瓷执行器应用中的关键技术之一[2]。
电流/电荷控制型压电陶瓷执行器驱动电源源于Comstock和Newcomb与Flinn的研究工作,由于能降低叠堆型压电陶瓷执行器的滞后现象,实现线性驱动,得到深入研究。但是电流/电荷控制型压电陶瓷执行器驱动电源存在零点漂移,低频特性差,限制了其应用
电流/电荷控制型压电陶瓷执行器驱动电源源于Comstock和Newcomb与Flinn的研究工作,由于能降低叠堆型压电陶瓷执行器的滞后现象,实现线性驱动,得到深入研究。此外,声纳技术还广泛用于引信,以及鱼群探测、海洋石油勘探、船舶导航、水下作业、水文测量和海底地质地貌的勘测等。但是电流/电荷控制型压电陶瓷执行器驱动电源存在零点漂移,低频特性差,限制了其应用[6电子陶瓷应用发展趋势
具有更薄更小尺寸的片式压电陶瓷频率元器件;频率更高的压电陶瓷谐振器;为了确定换能器的工作状态,必须求出它的机械振动系统的状态方程式和电路系统状态方程式。具有更高频率精度,更优异频率稳定性,可靠性更高的压电陶瓷频率元器件;具有优异的耐热性,能适用无铅回流焊需要的片式陶瓷频率元器件;不含或少含有毒、有害元素的片式压电陶瓷频率元器件的应用会受到关注。压电陶瓷换能器产生的超声波处理废水及有毒水。具有径向尺寸小、输出力矩大、可控性强等特点的超声电机;防盗、测高、汽车防撞、遥控开关和机器人测距离等超声传感器;伺服位移制动器、光学应变镜、应变光栅、超精密导向机构、切磨误差补偿制动器、油压伺
服阀等应特别关注。