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当停泵后，碳氧化合物返流很快通过泵进入直空室内，如果系统仍保持在直空状态下，碳气化合物将会粘在清洁的叶片和直空室的表面上，在随后再运转该系统时，将极难抽除粘着的碳氧化合物，另一方面，在涡轮分子泵停止运转时，如果给泵充入干燥氙气或干燥空气，刚该干燥气体将给暴露的表面提供一层气体保护层，而且在系统充气后，返流的碳氧化合物由于与充入的气体混合起来，从而它的粘着能力很弱，在混合气体中碳氧化合物所占比例*小，在下一次抽空时也很快就能被抽走。
一般导致真空泵无法正常启动的原因
1、驱动电机电压不正确或过载。维修进口真空泵
解决办法：提供电机正确的电压。
2、电机启动器过载保护太小或设定值太低。
解决办法：将电机启动器过载保护的设定数据与电机铭牌的数据相对照，必要时，请校正。如果环境温度较高：可将设定值根据正常电机电流提高5%。
3、保险丝熔断。
解决办法：检查保险丝。维修进口真空泵
在何处充气
在涡轮分子泵的前级侧充气，能强制使碳氧化合物立刻通过涡轮分子泵流入真空室。另一方面，若在涡轮分子泵吸入侧充气，能达到以清洁气体荡盖表面的目的。并使气流流向涡轮分子泵(自上而下)，能暂时阻止、延迟碳氢化合物的返流，也有些涡轮分子泵在压缩级之间进行中间充气，它和在吸入侧充气控制碳气化合物返流几乎同样有效。在超高真空系统中，在压缩级充气尤其*越。因为中间充气不需要价格昂贵的金属密封的可烘烤的充气阀。维修进口真空泵
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泵温太高的原因可以是泵环境温度太高，进气温度太高，进气冷却装置失效，泵长期连续运转入中压力太高；水冷泵冷却水量不足，循环水设计效果不佳；温控水量调节阀失效等。漏油。可以发生在轴封，油箱与泵零部件的密封面，放油塞、油标、油孔闷头、定子部件与支座的通孔连接处，气镇阀（例如2X-8）等部位。
罗茨泵的特点是启动快、功耗少、运行维护费低、抽吸速度大、效*高，对被抽吸气体中含有的少量水蒸气和灰尘不敏感；水环式真空泵结构紧凑，叶轮转速快，可以和电机直接进行连接，不需要减速装置。进气均匀，工作平稳可靠，操作简单，维修便捷。Alcatel分子泵控制器维修
运转中真空系统内气体会通过密封真空泵油层不断排出，排出气体会在油层表面产生大量气泡，并从泵排气孔中溢出，造成油品损失与设备污染。加防抗泡剂泵油，在抗泡效果上有明显提高。天然矿物油均有其不可避免漏洞，耐热化性能要比合成油差，泵油成份随热氧化分解极易劣化，极限压力稳定性差，抽速也随运用时间下降。Alcatel分子泵控制器维修
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半导体器件的生产制造工艺极其复杂，需要在高纯度硅片上执行一系列精密的物理或者化学操作，例如掺入相应的其它元素、形成多种金属薄膜和绝缘膜、进行表面的刻蚀处理等。这些复杂的生产制造工艺都需要在分子泵维持的高真空环境下进行，而且对真空系统和真空设备的洁净度也有着很高的要求。分子泵养护
罗茨真空泵在石油、化工、塑料、nong药、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验，所以应该在国内大力推广和应用。同时也广泛用于石油、化工、冶金、纺织等工业。真空泵配件作为真空泵消*器，用于真空泵的噪声治理。分子泵养护
转子的内部冷却:为了使罗茨真空泵在更高压差下工作，可采取更有效的冷却方法，即将转子用循环油冷却，在泵轴两端分别有油孔、油径轴头打入，经转子内壁再从另一端排出。冷却油除冷却转子外，还润滑齿轮和轴承。这种冷却效果较好，泵在运转时转子温度低于外壳温度，大泵常采用这种方式。 分子泵维修，例如在80Torr压差下工作时，罗茨真空泵转子温度较外壳低78度，同时还发现泵负荷越重时，则间隙越大，这是因为转子用油冷却，温度比壳体低，负荷越大，壳体膨胀越厉害，轴间距加大，所以间隙会增大。
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