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复合分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应，日本OSAKA大阪真空泵，由于对分子量大的气体有很高的压缩比，因此该泵不需要冷阱和油挡板可获得清洁的高真空。其应用于光伏、照明、宇航、半导体、能源、、激光、家电、材料、汽车等真空技术的各个领域。

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任何真空泵都有不足之处，涡轮分子泵也不例外。那么涡轮分子泵它的缺点：(1) 设备费用高；(2) 对颗粒物或沉积物敏感；(3) 噪音与振动；(4) 破碎问题；(5) 暴露大气易引起事故